24.01.2008  Московские специалисты разработали зонды для атомно-силовой микроскопии

   Специалисты научно-исследовательского предприятия «ВИСКЕР» (г.Москва) разработали метод, который позволяет создавать так называемые вискерные зонды для атомно-силовой микроскопии. По сути, это микроскопические пирамидки из кремния на кремниевой подложке, причем пирамидки особой конструкции — с массивным (в масштабах микромира) основанием и короткой ультраострой вершиной — диаметром всего 2-3 нанометра и углом конуса при вершине всего 2-3 градуса.
   Такие кремниевые конструкции необходимы для определенного рода исследований. При исследовании поверхностей, рельеф которых измеряется микронами или долями микрон, то есть десятками или сотнями нанометров, используют так называемые атомно-силовые микроскопы. Суть данного метода в том, что по поверхности объекта перемещается зонд — очень острая подвижная игла. Она скользит по поверхности, поднимаясь на возвышенностях и опускаясь во впадинах, а прибор фиксирует ее вертикальные перемещения и в конечном итоге создает трехмерную «карту рельефа» этой поверхности.
   Очевидно, что важнейшая деталь такого прибора — это собственно игла, точнее зонд, и радиус закругления вершины иглы определяет точность измерения. Понятно, что чем острее и тоньше кончик зонда, тем более тонкие детали можно будет «увидеть». Именно такие зонды, причем очень хорошие — прочные и ультраострые, научились получать, вернее — выращивать, доктор физико-математических наук профессор Евгений Гиваргизов и его коллеги. В настоящий момент уже запущен пилотный вариант производства зондов. В течение года планируется запуск их промышленного производства.