Способ регистрации отклонения консоли зонда сканирующего микроскопа с оптическим объективом

Область применения: Биология, медицина
Аннотация: 1. Способ регистрации отклонения зонда сканирующего микроскопа с оптическим объективом, включающий формирование луча от источника света, направление его через оптический объектив на отражающую поверхность консоли зонда получение с использованием оптического объектива светового пятна на чувствительной поверхности многосегментного фотоприемника и регистрацию изменения положения светового пятна по чувствительной поверхности для определения отклонения консоли зонда по этому изменению, отличающийся тем, что оптический объектив настраивают на образец, а расходимость луча формируют таким образом, чтобы этот луч, проходя через оптический объектив, фокусировался (образовывал каустику) над отражающей поверхностью консоли зонда. 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что каустика луча расположена над отражающей поверхностью консоли зонда на расстоянии, равном расстоянию от этой поверхности до плоскости предмета объектива. 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что каустика луча расположена над отражающей поверхностью консоли зонда на расстоянии, большем расстояния от этой поверхности до плоскости предмета объектива, при этом оно выбирается таким образом, чтобы действительное изображение каустики строилось на чувствительной поверхности фотоприемника. 4. Способ по пп.1, 2 и 3, отличающийся тем, что луч входит во входной зрачок объектива параллельно оси объектива, но со смещением, таким, что луч, выходящий из объектива падает на отражающую поверхность консоли зонда под прямым углом к этой поверхности. 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что разделение лучей, падающего и отраженного, производится за счет вращения их поляризации, приводящей к повороту поляризации луча на 90° после двух проходов. 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что при использовании лазеров с различной расходимостью лазерного луча в двух напралениях, лазер ориентируется таким образом, чтобы лазерное пятно на отражающей поверхности консоли зонда было вытянуто вдоль консоли.
Объект интеллектуальной собственности: изобретение
Автор/разработчик: Быков Виктор Александрович, Беляев Алексей Александрович, Гаврилюк Василий Васильевич, Жижимонтов Владимир Вадимович, Саунин Сергей Алексеевич
Стадия освоения разработки: мелкосерийное производство
Формы сотрудничества: совместное производство
Название предприятия: "НТ-МДТ", ЗАО
Статус: юридическое лицо
Адрес: 124460, Москва, Зеленоград, Корпус 167, ЗАО «НТ-МДТ»
Телефон: +7 (495) 535-03-05, 535-83-69
Факс: +7 (495) 535-64-10
E-mail: secretary@ntmdt.ru
Адрес Web: www.ntmdt.ru
ФИО руководителя предприятия: Быков Виктор Александрович
Регион: Москва, Зеленоградский округ