Аннотация: | 1. Устройство электростатического возбуждения колебаний кантилевера в сканирующей зондовой микроскопии, содержащее держатель кантилевера с кантилевером, включающим основание с гибкой балкой, а также источник возбуждения колебаний гибкой балки относительно образца, отличающийся тем, что в него введен блок поддержания положения гибкой балки, на гибкой балке кантилевера сформированы первая и вторая электропроводящие области с индивидуальным подключением, разделенные слоем диэлектрика и представляющие собой первый электрод, расположенный с возможностью взаимодействия со вторым электродом, а источник возбуждения колебаний кантилевера выполнен в виде первого электростатического привода, подключенного к первому и второму электродам.
2. Устройство электростатического возбуждения колебаний кантилевера в сканирующей зондовой микроскопии по п.1, отличающееся тем, что блок поддержания положения гибкой балки выполнен в виде второго электростатического привода, состоящего из источника постоянного электрического напряжения, первым концом подключенного к первому электроду, а вторым концом ко второму электроду.
3. Устройство электростатического возбуждения колебаний кантилевера в сканирующей зондовой микроскопии по п.1, отличающееся тем, что первый электростатический привод выполнен в виде источника переменного электрического напряжения, первым концом подключенного к первому электроду, в качестве которого используют две электропроводящие области, а вторым концом - ко второму электроду.
4. Устройство электростатического возбуждения колебаний кантилевера в сканирующей зондовой микроскопии по пп.1 и 3, отличающееся тем, что в качестве второго электрода используют образец, выполненный из электропроводящего материала.
5. Устройство электростатического возбуждения колебаний кантилевера в сканирующей зондовой микроскопии по пп.1 и 3, отличающееся тем, что в качестве второго электрода используют электропроводящую пластину, имеющую диффузно-отражающую поверхность со стороны, противоположной кантилеверу. |