| Область применения: | Микроэлектроника, медицина, атомная энергетика, научно-исследовательское оборудование |
| Аннотация: | Стремительный прогресс электронных и информационных технологий предъявляет все более высокие требования к параметрам технологических процессов. При создании новых
материалов, изготовлении кристаллов, получении нанопленок и др. чрезвычайно важно точно контролировать параметры газовых сред, в которых данные процессы ведутся. Одним из важнейших элементов, используемых для создания газовых сред является регулятор расхода газа, представляющий собой электронное устройство для подачи прецизионных газовых потоков в том числе и агрессивных газов в технологические реакторы. На сегодняшний день не существует отечественных приборов, позволяющих решить данную задачу. Целью проекта является создание микропроцессорной модели регулятора расхода газа, не уступающего по техническим параметрам лучшим зарубежным образцам.
|
| Объект интеллектуальной собственности: | изобретение, полезная модель |
| Автор/разработчик: | ООО «Элточприбор» |
| Стадия освоения разработки: | лабораторный образец |
| Охранные документы: | Подана заявка на изобретение |
| Формы сотрудничества: | внедрение новой технологии |
| Название предприятия: | "Элточприбор", ООО |
| Статус: | юридическое лицо |
| Адрес: | 124460, Москва, Зеленоград, Панфиловский пр-т, 10, ОАО НИИТМ, ООО «Элточприбор». |
| Телефон: | +7 (495) 535-09-31 |
| Факс: | +7 (495) 535-09-31 |
| E-mail: | gas@eltochpribor.ru |
| Адрес Web: | www.eltochpribor.ru |
| ФИО руководителя предприятия: | Cажнев Сергей Викторович |
| Контактное лицо: | Привалова Ольга Владленовна |
| Регион: | Москва, Зеленоградский округ |