Аннотация: | 1. Сканирующий зондовый микроскоп с системой слежения за кантилевером, содержащий сопряженный с основанием сканер с кантилевером, закрепленным на сканере с возможностью взаимодействия с образцом, первое зеркало, связанное со сканером, и лазер, оптически сопряженный с первым зеркалом, кантилевером и фотоприемником, причем траектория перемещения кантилевера расположена на сфере, отличающийся тем, что первое зеркало закреплено консольно на сканере с возможностью поворота вместе с кантилевером вокруг центра сферы таким образом, что отражающая поверхность первого зеркала обращена в сторону кантилевера и является срединным перпендикуляром к отрезку, соединяющему текущее положение кантилевера и центр сферы, а продолжение оптической оси лазера за первое зеркало проходит через центр сферы.2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что лазер, первое зеркало и фотоприемник расположены так, что падающий на кантилевер и отраженный от него лучи лежат в плоскости, проходящей через ось сканера.3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что лазер, первое зеркало и фотоприемник расположены так, что плоскость, проходящая через падающий на кантилевер и отраженный от него лучи, расположена под углом к оси сканера.4. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между кантилевером и фотоприемником установлен оптический элемент таким образом, что фотоприемник расположен в его фокальной плоскости.5. Устройство по п.1, отличающееся тем, что между кантилевером и фотоприемником установлена оптическая система с различными фокусными расстояниями в двух перпендикулярных направлениях, и ее положение, ориентация и фокусные расстояния подобраны так, что нефункциональные смещения луча на фотоприемнике, вызванные перемещением сканера, минимальны.6. Устройство по п.5, отличающееся тем, что оптическая система состоит из цилиндрической и сферической линз с различными фокусными расстояниями.7. Устройство по п.5, отличающееся тем, что оптическая система состоит из двух цилиндрических линз с различными фокусными расстояниями.8. Устройство по п.1, отличающееся тем, |