| Область применения: | Микроэлектроника, оборудование для научных исследований |
| Аннотация: | Способ регулирования расхода газа, включающий пропускание ламинарного потока газа через трубку, нагрев газа нагревателем, измерение расхода газа по разности температур терморезисторов, размещенных на трубке по обе стороны от нагревателя, температурную компенсацию и линеаризацию градуировочной характеристики, усиление и преобразование сигнала в цифровую форму, обработку его микропроцессором с последующим сравнением его с заданием, отличающийся тем, что, с целью повышения точности регулирования, температурную компенсацию осуществляют дополнительным измерением изменения суммарного сопротивления последовательно соединенных терморезисторов и корректируют выходной сигнал для каждого значения измеряемого сопротивления, а линеаризацию осуществляют путем аппроксимации функции выходного сигнала кусочно-линейной функцией таким образом, что разность выходного сигнала и аппроксимированного значения не превышает заданной величины. |
| Объект интеллектуальной собственности: | изобретение |
| Автор/разработчик: | Сажнев Сергей Викторович, Ежков Анатолий Николаевич |
| Стадия освоения разработки: | опытное производство |
| Охранные документы: | RU2005106744A 20.08.2006 |
| Формы сотрудничества: | внедрение новой технологии |
| Название предприятия: | "Элточприбор", ООО |
| Статус: | юридическое лицо |
| Адрес: | 124460, Москва, Зеленоград, Панфиловский пр-т, 10, ОАО НИИТМ, ООО «Элточприбор» |
| Телефон: | +7 (495) 535-09-31 |
| E-mail: | gas@eltochpribor.ru |
| Адрес Web: | www.eltochpribor.ru |
| ФИО руководителя предприятия: | Сажнев Сергей Викторович |
| Регион: | Москва, Зеленоградский округ |